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D07-7 SLA5850S氣體流量計(jì)技術(shù)參數(shù)

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七星華創(chuàng)流量計(jì)是熱式質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計(jì)基礎(chǔ)款產(chǎn)品,能滿足客戶流量測(cè)控基本需求。

七星華創(chuàng)質(zhì)量流量控制器流量計(jì)

特點(diǎn)

  • 橡膠密封、模擬電路的MFC

  • 管狀分流,使用壽命長(zhǎng)D07-7是熱式質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計(jì)基礎(chǔ)款產(chǎn)品,能滿足客戶流量測(cè)控基本需求。

七星華創(chuàng)質(zhì)量流量控制器流量計(jì)

技術(shù)參數(shù)

 

編號(hào)

 

項(xiàng)目

 

D07-7K  型

 

D07-7B  型

 

D07-7C  型

 

D07-7CM  型

 

1

 

流量規(guī)格

 

(20,30,50,100,200,300,500)  SCCM      

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

           

 

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

 

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

 

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  

SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

2

準(zhǔn)確度

±1 % F.S

±1.5  % F.S

±1.5  % F.S

±1.5  % F.S

3

線性

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

 

4

重復(fù)精度

 ±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

±0.2 %F.S

5

響應(yīng)時(shí)間

 

電特性: 10 sec;              

氣特性:  ≤ 4  sec

 

 

電特性: 10 sec;              

氣特性:  ≤ 4  sec

 

電特性: 10 sec;              

氣特性:  ≤ 4  sec

                          

 

 10  sec

6

氣壓降

 

ˉ

 

ˉ

 

ˉ

<0.01 mpa="">

 

7

工作壓差范圍

(0.1 ~ 0.5)  MPa

(0.1 ~ 0.5)  MPa

(0.1 ~ 0.5)  MPa

<0.01 mpa="">

 

8

溫度系數(shù)

Zero:≤±0.1% F.S./℃; 

Span: ≤±0.2% F.S./℃;

ˉ

ˉ

ˉ

 

9

最大工作壓力

1  MPa

1  MPa

1  MPa

1  MPa

10

耐壓

3  MPa

3  MPa

3  MPa

3  MPa

 

11

工作環(huán)境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

12

輸入輸出信號(hào)

0 V ~ +5.00 V
           (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
           (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
           (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
           (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

13

電源

  +15 V   50 mA;

  -15V  200 mA

    +15 V   50 mA; 

 -15V  200 mA

      +15 V   50 mA; 

   -15V  200 mA

+15 V   50 mA


           -15 V   50 mA

 

14

外形尺寸

 

見圖4

 

見圖4

 

見圖4

 

見圖5

15

重量

1.1  kg

1.1  kg

1.1  kg

0.92  kg

 D07-7是熱式質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計(jì)基礎(chǔ)款產(chǎn)品,能滿足客戶流量測(cè)控基本需求。D07-7是熱式質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計(jì)基礎(chǔ)款產(chǎn)品,能滿足客戶流量測(cè)控基本需求。

 


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