紫外線對(duì)細(xì)菌或細(xì)胞照射，使大量細(xì)菌或細(xì)胞中維持生命的主要構(gòu)成成分核蛋白中的核酸分子，因大量吸收紫外線而發(fā)生性變，以破壞其生理活性。通常認(rèn)為殺菌效果zui高的紫外線波長(zhǎng)是260.0nm,在現(xiàn)有的人工光源中，低壓汞燈的特殊譜線253.7nm與260.0nmzui接近，所以具有強(qiáng)烈的殺菌效果。但是一般的低壓汞燈253.7nm處集中了大部分幅射能量，在譜線185.0nm處也具有相當(dāng)?shù)膹?qiáng)度，波長(zhǎng)小于200.0nm的紫外線，能被空氣很快吸收而產(chǎn)生臭氧，同時(shí)降低超純水的電阻率，因此采用一般低壓汞燈流水殺菌裝置不能滿足電子工業(yè)超純水系統(tǒng)的要求。
        本裝置采取了特制的高強(qiáng)度無臭氧紫外線殺菌燈和內(nèi)壁經(jīng)過特殊處理的微碳奧氏體不銹鋼筒體，使經(jīng)過預(yù)處理的水在流過筒體時(shí)受到253.7nm的足夠線量的照射，具有良好的殺菌效果，也有效地減少了對(duì)超純水的影響。