廈門三厘塑膠管路有限公司
廈門三厘塑膠管路有限公司
DN15
生產(chǎn)商
廈門市
1/2“ 1150元 1臺可售
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更新時間：2024-02-02 13:49:04瀏覽次數(shù)：182次
聯(lián)系我時，請告知來自 泵閥商務網(wǎng)三厘SANKING牌PPH氣動隔膜閥是由三登公司自主研發(fā)的氣動執(zhí)行器，氣動執(zhí)行器由全塑材料研發(fā)制造而成，本體為PPH三厘SANKING牌氣動隔膜閥；產(chǎn)品性能穩(wěn)定，使用壽命長。
產(chǎn)品名稱:三厘SANKING牌PPH氣動隔膜閥 品牌：三厘/SANKING 氣動執(zhí)行器材質(zhì)：全塑
氣動執(zhí)行類型：單作用常閉，隔膜閥配置：EPDM隔膜片，
產(chǎn)品尺寸：1/2"~2",DN15~DN50,20mm~63mm;
標準：國標（DIN）；
產(chǎn)品顏色：本體（淺黃色）；(LD: 138 ,6012 , 2398)
產(chǎn)品尺寸圖：
三厘SANKING牌PPH氣動隔膜閥
一、 氣動隔膜閥是一種利用空氣動力來驅(qū)動的開關(guān)，具有快速、安全、可靠、易于維護等優(yōu)點，在半導體行業(yè)中被廣泛應用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中。這里介紹氣動隔膜閥的工作原理、特點及在半導體行業(yè)中的應用。
二、氣動隔膜閥的特點
1. 結(jié)構(gòu)簡單：氣動隔膜閥的結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，易于安裝和維護。
2. 密封性好：膜片與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu)，密封性能好，能夠有效地防止氣體和液體泄漏。
3. 動作靈敏：氣動隔膜閥的驅(qū)動機構(gòu)采用氣動方式，動作靈敏，可以實現(xiàn)快速開關(guān)。
4. 適用范圍廣：氣動隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中，具有廣泛的應用范圍。
5. 安全性高：氣動隔膜閥采用膜片作為密封件，能夠有效地避免物料卡死或粘結(jié)現(xiàn)象，提高了設備的安全性。
6. 維護方便：氣動隔膜閥的維護非常方便，只需要定期清洗和更換膜片即可。
三、氣動隔膜閥在半導體行業(yè)中的應用，在半導體行業(yè)中，氣動隔膜閥被廣泛應用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中，以下是幾個典型的應用場景：
1. 工藝氣體管路：在半導體制造過程中，需要使用各種工藝氣體，如氮氣、氧氣、氫氣等。氣動隔膜閥能夠快速、準確地控制這些氣體的流量和壓力，為生產(chǎn)提供穩(wěn)定的工藝環(huán)境。
2. 液體管路：在半導體制造中，各種化學試劑和超純水需要通過管道進行輸送。氣動隔膜閥可以控制液體的流量和壓力，確保輸送過程的穩(wěn)定性和安全性。
3. 真空管路：半導體制造過程中需要進行真空處理，如薄膜沉積、干法刻蝕等。氣動隔膜閥可以在真空系統(tǒng)中起到開關(guān)和調(diào)節(jié)作用，保證設備的正常運行。
4. 尾氣處理系統(tǒng)：在半導體制造過程中會產(chǎn)生各種廢氣，如酸氣、有機廢氣等。氣動隔膜閥可以控制尾氣處理系統(tǒng)的閥門開關(guān)，實現(xiàn)廢氣的收集和處理。
5. 晶圓傳送系統(tǒng)：半導體制造中的晶圓需要經(jīng)過多個工藝步驟之間的傳遞。氣動隔膜閥可以控制晶圓傳送系統(tǒng)的氣體管道，確保晶圓在傳送過程中的穩(wěn)定性和清潔度。
四、總結(jié)，氣動隔膜閥作為一種快速、安全、可靠、易于維護的開關(guān)設備，在半導體行業(yè)中得到了廣泛應用。它具有結(jié)構(gòu)簡單、密封性好、動作靈敏、適用范圍廣、安全性高和維護方便等特點，為半導體制造過程中的工藝控制和設備安全提供了有力保障。隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展，氣動隔膜閥在未來有重要作用。
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